動(dòng)態(tài)配氣裝置和混氣儀SSGM
裝置中采用高精度的熱式流量控制器，并經(jīng)高精度流量計(jì)校準(zhǔn)，流量偏差可控制在?0.5%以內(nèi)，重復(fù)性小于?0.2%，稀釋設(shè)備的精度優(yōu)于?1%。在實(shí)際應(yīng)用時(shí)，氣體由氣路連接供應(yīng)，通過(guò)設(shè)備的觸摸顯示儀設(shè)置氣體的流量和濃度成分，通過(guò)質(zhì)量流量控制器，該質(zhì)量流量控制器根據(jù)設(shè)計(jì)配合使用以獲得高精度的氣體控制，進(jìn)入混合室混合輸出，配比好的氣體可以直接使用或外接到安裝了待檢測(cè)的產(chǎn)品箱使用，測(cè)試期間，記錄和分析數(shù)據(jù)，連續(xù)使用時(shí)間能長(zhǎng)達(dá)數(shù)月。